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技术问答

溅射靶材---镍铬靶材!

更新时间  2024-01-23 阅读 160

  靶材是制备薄膜的关键基础材料,目前比较常用的的靶材制备加工方法主要有粉末冶金技术和传统的合金冶炼技术两种,而我们采用的则是技术性较强、较新的真空熔炼技术。

  镍铬靶材的制备就是根据客户的不同纯度需求,选择不同纯度的金属镍和金属铬为原料,使用真空感应熔炼炉熔炼,熔炼工艺一般为熔炼室室抽真空—氩气洗炉—抽真空—惰性气体保护—熔炼合金化—精炼—浇铸—冷却脱模。我们会对浇铸完成的铸锭进行成分检测,符合要求的铸锭就会进行下一步加工。

  再将镍铬铸锭进行锻造、轧制等得到组织更均匀的轧板,然后对轧板按照客户要求进行机加工,即可得到符合客户需求的镍铬靶材。